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感应耦合等离子体刻蚀系统
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GaN感应耦合等离子体干法刻蚀机
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钝化介质等离子体增强化学气相沉积仪
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探针轮廓仪
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椭偏仪
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等离子体去胶机
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步进式光刻机
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显微镜（干法区）
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半自动涂胶显影台
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电子束蒸发台
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快速热退火炉
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划片机
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碳膜溅射机
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半导体器件高温退火炉
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减薄机
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