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快速热退火炉
仪器编号
KG230647
规格
快速退火
生产厂家
Allwin21Corp
型号
AccuThermo AW610
制造国家
美国
分类号
04060804
放置地点
Array信息港园区3-211
出厂日期
2023-02-16
购置日期
2023-02-16
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
1) 支持4~6英寸的晶圆作业 2) 满足工艺温度：400℃～1050℃ 3)升温速率：10~100℃/sec 4)温度控制重复性：±2℃ 5)温度测量的精确度：±1℃ 6)温度控制均匀性：<5℃ 7)碎片率<1/10000 8)满足SiC与金属接触合金工艺 9)带有至少两路气体通道，可进行N2、O2等气体氛围的高温退火工艺
主要功能及特色
1) 支持4~6英寸的晶圆作业 2) 满足工艺温度：400℃～1050℃ 3)升温速率：10~100℃/sec 4)温度控制重复性：±2℃ 5)温度测量的精确度：±1℃ 6)温度控制均匀性：<5℃ 7)碎片率<1/10000 8)满足SiC与金属接触合金工艺 9)带有至少两路气体通道，可进行N2、O2等气体氛围的高温退火工艺
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
600元/小时
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