主要规格及技术指标

主轴功率 1.5 kW
转速范围 3000-40000 rpm
Θ轴定位精度45＂
X轴有效行程230mm 对准方式 手动对准
进给速度0.1-300 mm/s 测高方式 接触测高
Y轴有效行程152mm
单步精度 ±0.003mm
返程间隙mm≤0.003
累计误差 0.005/160 mm
重复精度0.002 mm
工件尺寸 圆形尺寸 Φ6＂ 光源 同轴+环形光

主要功能及特色

用于晶圆的划切加工

主要附件及配置

无