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等离子体去胶机
仪器编号
KG221460
规格
4、6寸
生产厂家
PVA Tepla
型号
IoN 40
制造国家
美国
分类号
04400618
放置地点
Array3号楼 3211干法刻蚀区
出厂日期
2022-05-11
购置日期
2022-05-11
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
去胶均匀性≤±20%
主要功能及特色
去胶、打底膜
主要附件及配置
主机，真空泵，软件
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
350元/小时
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