仪器分类
仪器设备 >
先进半导体研究院 >
仪器详情
步进式光刻机
仪器编号
KG220234
规格
4、6吋兼容，0.35μm
生产厂家
尼康
型号
尼康I11d
制造国家
日本
分类号
05080105
放置地点
Array3号楼 3211黄光区
出厂日期
2021-06-22
购置日期
2021-06-22
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
"分辨率：0.4um 套刻精度：70nm"
主要功能及特色
光刻版图形转移
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
1000元/小时
版权所有 © 浙江大学 杭州国际科创中心 访问量: 9188391 系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司