片内厚度均匀性:TTV<2μm(4英寸)TTV<3μm(6英寸);片间厚度均匀性:WTW≤±2μm(4英寸)WTW<±3μm(6英寸);表面粗糙度:Ra<50nm(粗磨后),Ra<5nm(精磨后)
碳化硅片减薄
无