主要规格及技术指标

"1. 载物台及聚焦装置：带内置离合驱动的手动载物台，配备可旋转晶圆托架及台板，XY行程210*210mm，Z行程32mm，最小分度1微米，具有上限位器和扭矩调节功能;2. 光学系统：无限远校正光学系统;3. 观察方式：反射明场、暗场、后期可拓展透射、偏光、DIC及MIX明暗场混合;4. 三目镜筒：超宽视场数26.5，倾斜正像，2档光路切换，配套两个10倍目镜，带有屈光度调节环;5. 物镜：5孔明暗场带插槽电动物镜转盘，配套5-100X专业物镜各一套，物镜具体技术参数如下： 5 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.15，工作距离12mm； 10 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.30，工作距离6.5mm； 20 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.45，工作距离3.0mm； 50 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.80，工作距离1.0mm； 100 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.90，工作距离1.0mm； 长工作距离高倍物镜参数："

主要功能及特色

无

主要附件及配置

软件，硬件