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椭偏仪
仪器编号
KG222858
规格
SER800 DUV
生产厂家
SENETCH
型号
SENETCH/SER800 DUV
制造国家
德国
分类号
03040606
放置地点
Array信息港园区超净间干法区
出厂日期
2022-09-27
购置日期
2022-09-27
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
薄膜厚度以及光学常数（n&K）测量，样品台尺寸兼容4/6寸晶圆，可实现mapping功能，并导出图形，起偏臂和检偏臂可独立变化角度测试 1. 厚度重复性: 0.2？（120nm SiO2/Si） 2. 折射率重复性: ±0.002（120nm SiO2/Si） 3. 厚度测试精度: ±0.3nm @120nm SiO2 on Si 4. 折射率测试精度: ±0.003 @120nm SiO2 on Si
主要功能及特色
该设备用在半导体薄膜工艺的厚度量测，譬如测试二氧化硅，氮化硅，光刻胶等，进而检测工艺的稳定性和均匀性。
主要附件及配置
软件，硬件
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
400元/小时
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