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半自动涂胶显影台
仪器编号
KG220347
规格
加工4寸6寸晶圆，涂胶厚度1um，涂胶均匀性1%，显影均匀性3%
生产厂家
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
型号
KS-S150-2C2D
制造国家
中国
分类号
05080101
放置地点
Array3号楼 3211黄光区
出厂日期
2022-01-10
购置日期
2022-01-10
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
"最薄匀胶厚度：1um膜厚均匀性：±1%显影分辨率：0.4um显影均匀性：±3%"
主要功能及特色
涂布光刻胶、显影、去胶
主要附件及配置
药液柜，THC
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
800元/小时
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