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仪器详情
电子束蒸发台
仪器编号
KG220342
规格
4&6吋晶圆金属蒸发
生产厂家
意发薄膜
型号
BAK761
制造国家
瑞士
分类号
03060301
放置地点
Array3号楼 3211金属区
出厂日期
2022-02-23
购置日期
2022-02-23
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
"1、U%（WIW）片内均匀性：≤2.5%（单层Single layer Ti，Ni，Au，Pt，Al，Thickness=1000 Å）；WIW=（MAX-MIN）/(2*AVG)；2、U%（WTW）片间均匀性：≤2.5%；WTW=（MAX-MIN）/(2*AVG)；3、U%（RTR）批间均匀性：≤2.5%；RT=（MAX-MIN）/(2*AVG)；4、Single dome capacity单个镀锅装载量：≥40pcs (4”)；"
主要功能及特色
蒸发材料，Ti,Ni,Ag,Al,Au,Pt等
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
1000元/小时
贵金属按成本价另行计费
贵金属按成本价另行计费
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