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快速热退火炉
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碳膜溅射机
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半导体器件高温退火炉
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半导体器件激光束加热仪
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半自动RCA清洗机
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半自动有机清洗机
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薄片清洗机
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半自动金属腐蚀清洗机
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地    址:   信息港园区3211湿法区

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低压化学气相沉积系统
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联系人:  史培丰

地    址:   信息港园区科创中心3211室薄膜区域

电    话:   17857120381

氧化退火炉及配件
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联系人:  史培丰

地    址:   信息港园区3211薄膜区

电    话:   17857120381

三维光学轮廓仪
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地    址:   信息港园区9108

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半导体输运性能测试仪
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联系人:   宋丽莎

地    址:   9108实验室

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高分辨多功能光谱仪
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联系人:   宋丽莎

地    址:   9108

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碳化硅源粉合成炉
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联系人:   林琳

地    址:   3125

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高纯石墨粉制备炉
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