主要规格及技术指标

1）加热器最大加热功率∶ 30 KW； 2）最高加热温度∶ 2400℃；3） 温度自动调节相对偏差∶<±0.5℃ 4） 极限真空度∶<9.0×10 -6mBar 5） 压力稳定性∶<±0.1 mBar（0-10mBar）

主要功能及特色

合成碳化硅源粉

主要附件及配置

1) 石英管直径：272 mm
2) 石英管高度：800 mm
3) 电源频率：50 Hz
4) 电源相数：3相5线
5) 加热器最大加热功率：30 KW
6) 最高加热温度：2100℃
7) 温度自动调节相对偏差：<±0.5℃ (1800～2400℃)
8) 极限真空度：<9.0×10 - 6 mBar
9) 压力稳定性：<±0.1 mBar（0-10mBar）
<±0.5mBar（10-960mBar）
10) 线圈移动速度：0.05～9000mm/h
11) 线圈升降行程：0-80mm
12) 线圈重复精度：<±0.1mm
13) 减压速率：
14）800～80 mBar ：<700s
15）80～0 mBar ：<300s