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仪器详情
半自动有机清洗机
仪器编号
KG231090
规格
4、6吋兼容
生产厂家
中国电子科技集团第四十五研究所
型号
SFQ-611ZDYJ
制造国家
中国
分类号
05080122
放置地点
Array信息港园区3211湿法区
出厂日期
2023-08-29
购置日期
2023-08-29
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
湿法晶圆清洗及腐蚀设备，可清洗4、6寸硅、碳化硅晶圆，清洗前后0.2μm颗粒增加数量不大于30个
主要功能及特色
湿法晶圆清洗及腐蚀设备，可清洗4、6寸硅、碳化硅晶圆
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
280元/小时
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