主要规格及技术指标

1 含HL9900测试主机一套，HL9980高阻测试组件一套,常温探针一套,高阻探针及治具一套 2 电流输出范围：100nA – 19.9mA，1pA – 10uA 3 兼容电压：20V 4 输入电压工作范围：±6V 5 测量模式：AC(213Hz)/DC 6 信号输入：同轴/带有Guard点的两线母口同轴 7 接触切换：FET 8 电阻测试范围 :10-4 Ω/sq ~1011Ω/sq 9 载流子浓度测试范围 : 106 ~ 1021 cm-3 10 载流子迁移率测试范围 : 1 ~ 107 cm2/V.s 11 接触方式: 探针直接接触 12 可翻转的永磁铁 13 强度 0.5T(5000 Gauss)，标称 ±1% 14 稳定度 0.1% over 10 years 15 均匀性 ±0.1% 16 最大作用直径25mm 17 含3个的标准电阻,阻值大小分别为10Ω,1KΩ,100KΩ. 一个霍尔GaAs器件带有原厂测试报告. 18 温度范围：-190~600摄氏度，独立温度控制 19 配备显微镜 20 配备6英寸样品台 21 附带主流配置PC,以原厂出货配置为准.配备操作软件等 22 包含完整操作说明书以及相应的说明文件,设备出厂检验合格报告等.

主要功能及特色

测试半导体材料电阻、载流子浓度

主要附件及配置

HL9900测试主机一套，HL9980高阻测试组件一套,常温探针一套,高阻探针及治具一套;高低温探针台，温度范围：-190~600摄氏度，独立温度控制