主要规格及技术指标

1、系统光源及寿命：双LED光源（白光和绿光），10万小时超长寿命，终身无需更换； 2、测量模式：垂直扫描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI），结合VSI和PSI的自适应通用测量模式（USI）； 3、垂直测量范围：0.1nm至10mm，全量程闭环扫描； 4、垂直分辨率：0.01nm； 5、台阶高度重复性：≤0.1%，在1sigma范围内； 6、台阶高度准确度：≤0.75%； 7、粗糙度测试RMS重复性：≤0.03nm； 8、垂直扫描速度：可达37微米/秒； 9、工控系统：工控电脑，专业自动化分析软件； 10、载物平台：可承载4寸和6寸样品； 11、电动样品台行程：150mm (XY轴)/100mm(Z轴)； 12、CCD：黑白CCD，像素≤500万，阵列：1200×1000； 13、自动寻找表面功能：一键自动聚焦，10秒内得到干涉条纹； 14、自动物镜切换塔，5孔； 15、干涉物镜：5X，20X,50X； 16、样品台倾斜调整：±6°； 17、8um标准高度样品，SiC超光滑参比镜； 18、样品反射率范围：0.05% to 100%； 19、气浮式防震台； 20、测量记忆模式：可针对不同的样品设置不同的测试程序及参数，实现自动多点测量，实时自动输出测量数据，并生成报告； 21、图像拼接功能（螺旋式拼接，横向拼接等，可自定义），提供软件测试图形截屏； 22、自动测量功能：可自由选取扫描位置，输入坐标完成自动测量设置。软件具有多区域分析功能，可对样品表面微观区域进行编号分析，自动分析深度，面积及体积等参数，同时得到每一次的数据，可分析平均值，标准方差等。

主要功能及特色

表面形貌、粗糙度测量

主要附件及配置

双LED光源（白光和绿光）;物镜：5X，20X;目镜：0.55X，2X