主要规格及技术指标

1. 激光器 1.1配置532 nm 单纵模激光器，TEM00模式：功率≥100 mW 1.1.1数字化功率控制系统，软件控制激光功率可调（无需改变激光器电压） 1.1.2配置拉曼滤光片，532nm低波数优于50 cm-1； 1.2配置266 nm 单纵模连续激光器：总功率≥25 mW， 1.3配置拉曼滤光片，266nm低波数优于350cm-1； 1.4 532nm激光器和266nm激光器可以全自动软件切换，软件控制全自动切换激发波长，包括激光光路，共焦耦合光路和拉曼光路。不受激发波长限制。 1.5使用266nm激光器时，可以在电脑屏幕上观察到样品和紫外激光光斑。 1.6 配置高分辨长焦长光谱仪，焦长800mm。 2. 光谱探测系统 2.1 内置2个共焦光路，软件控制自动切换双共焦光路。 2.2 采用 Czerny Turner 全反射式消色差校像散单级光谱仪，光谱范围200-2200nm 2.3 拉曼光路采用真实针孔共聚焦，共焦针孔10-1000um软件控制调节，步进1um。 2.4 光谱分辨率（测试条件：采用≤1800刻线光栅，≥30um狭缝或针孔一次性连续测量紫外-可见-近红外全光谱范围）： ≤0.65cm-1（585nm氖灯线半高宽）， ≤0.35cm-1（837nm氖灯线半高宽）。 2.5 灵敏度：在共聚焦测试条件下（纵向空间分辨率好于850nm条件下）灵敏度测试Si三阶峰信噪比好于25:1，能清晰观察到硅的四阶拉曼峰。 测试条件：测量Si（111）三阶峰，采用532nm激发，积分时间≤100s，重复≤3次，光谱分辨率≤1cm-1。 2.6 光谱重复性：≤±0.02cm-1。 测试条件：测量Si 520cm-1拉曼峰，采用532nm激发，10次以上连续测量，扫描范围100-4000cm-1，峰位变化≤±0.02cm-1。 2.7 光谱稳定性：≤±0.02cm-1。 测试条件（验收指标）：测量Si 520cm-1拉曼峰，采用532nm激发，10次以上连续测量，峰位变化≤±0.02cm-1。 2.8 光栅：采用等离子刻蚀全息技术，尺寸：≥76mm×76mm，配置的光栅都可以采集全谱段拉曼信号，即每块光栅至少覆盖350cm-1~4000cm-1。 2.9 配置≥1024×256像素CCD芯片（TE制冷-60摄氏度），无近红外干涉条纹效应。最短积分时间≤5ms 2.10 横向空间分辨率：≤ 300nm；纵向（Z方向）空间分辨率：拉曼成像纵向光学分辨率：≤ 850 nm 2.11 可以同时测试266nm的拉曼谱图和PL谱图。 3. 光学显微镜 3.1开放式光学显微镜，具有显微镜原装科勒照明系统，配有摄像机观察样品表面，提供大尺寸空间≥50mm用于原位拉曼光谱实验。。 3.2通过调节物镜高低聚焦样品，无需调节样品台，保证稳定性 3.3配置10X， 50X， 50X长焦物镜（NA≧0.50，工作距离10.6 mm）和100x（NA=0.9，工作距离=0.21mm），深紫外物镜 40x (NA ≧0.5，工作距离=1 mm)，额外配置5X物镜，NA = 0.10, WD = 19.6 mm 3.4配置XYZ自动平台，XY轴移动范围300 mm，最小步长50nm，Z轴移动范围≥20 mm，最小步长10nm。2个晶片支架：1个用于8”和12”晶片；1个用于6”和8”晶片 3.5高级数据软件：具有多功能数据处理功能，具有PCA，NMF等高级功能 3.6 主流机型：Intel i7中央处理器，主频3.4GHz，16G内存，256G固态硬盘，2T机械硬盘， 4G独立显卡，27英寸LED显示器，Windows10 64位操作系统。 3.7 光谱软件权限控制：可建立多用户权限，如管理员，专家，实验员等，保证后台操作不被轻易篡改。不同用户支持不同的操作界面。 3.8分析软件密码：6个，可安装在不同的电脑上

主要功能及特色

拉曼光谱测试

主要附件及配置

无