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激光诱导击穿等离子发射光谱系统
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地    址:   信息港园区3211外延区

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傅里叶红外光谱仪
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联系人:  钱怡潇

地    址:   信息港园区3211外延生长区

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汞探针CV
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联系人:  钱怡潇

地    址:   信息港园区超净间

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半导体薄膜集成光电测试系统
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联系人:  殷婵玲

地    址:   9160-2

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单晶炉
单晶炉

联系人:  黄渊超

地    址:   3125

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高速摄像机
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联系人:  陈浮

地    址:   信息港园区4111

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退火炉
退火炉

联系人:  王万堂

地    址:   4113

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甩干机
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联系人:  王万堂

地    址:   4114

电    话:   17630726411

减薄机
减薄机

联系人:  王万堂

地    址:   信息港园区4114

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LPCVD(低压POLY)
LPCVD(低压POLY)

联系人:  黄波

地    址:   3211薄膜区

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碳化硅晶圆最终清洗机
碳化硅晶圆最终清洗机

联系人:   宋丽莎

地    址:   信息港园区3211外延区

电    话:   17630726411

抛光预清洗机
抛光预清洗机

联系人:  王万堂

地    址:   3211材料外延生长区

电    话:   17630726411

激光打标机
激光打标机

联系人:  王万堂

地    址:   4114

电    话:   17630726411

等离子去胶机
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联系人:  朱佳奇

地    址:   3211封测区

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低压化学气相沉积系统
低压化学气相沉积系统

联系人:  黄波

地    址:   信息港园区科创中心3211室薄膜区域

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