主要规格及技术指标

1、红外光谱仪的光学腔、样品腔均为真空系统密封，测试状态下整体主机的真空度达到10-2HPa；能够连用红外显微镜、拉曼及热分析，振动圆二色谱等附件。 2、主机光谱范围：8,000-350 cm-1 3、分辨率: 优于0.4cm-1 4、波数精度 ：< 0.005 cm-1 5、信噪比：高于55,000:1(峰-峰值，1分钟背景测试)，(测试条件：DLATGS检测器，4cm-1分辨率) 6、干涉仪：30°干涉仪，光源利用率比45°干涉仪提高1.4倍，避免偏振效应，保证最大光通量。光路永久准直、无需被动式动态调整。质保10年。 7、干涉仪技术：采用角镜式干涉仪，无机械调整装置，光路永久准直。 8、检测器：2个DigiTectTM全数字化检测器（12000-350 cm-1），一个用于主样品仓，一个用于外接样品仓。 9、光源：带有预准直、高能量的中/远红外光源，支持热插拔，即插即用。 10、分束器：KBr分束器一个，后期可根据实验情况提供更换分束器的功能。 11、外接样品仓：配备Wafer测试专用外接样品仓，配备Wafer测试专用附件，可测试4，6，8，12寸Wafer。 12、外延层测试软件：配备单层，多层外延层分析软件。 13、仪器内置包含各种标准物质的IVU校验系统，通过自检程序可对仪器的各项指标随时进行自检，并给出符合GLP标准的自检报告。 14、外延层厚度短期动态重复性: 标准差<0.02um。 15、外延层厚度长期静态重复性: 标准差<0.03um。 16、配备一级旋叶真空泵一台。 17、专用定制化清洗系统一套。 18、随主机包含：压片机及配套制样工具，光谱纯溴化钾粉末，干燥剂等。

主要功能及特色

官能团测试

主要附件及配置

1、Platinum-ATR-accessory, Diamond, 1 bounce, QuickLock 金刚石ATR 1台
2、Sample compartment cover,raised and vacuum tight真空仓盖（适配金刚石ATR附件1台
3、DLATGS detector 外接样品仓专用检测器 1台
4、Ext.sample cabinet,large sample compar tment(XSA)外接样品仓（用于MAP300）1套
5、Adaption set for connection of external accessories 主机外接样品仓接口 1套
6、MAP300 12" WAFER ANALYSIS ACC. INCL.SOFT "MAP300" MAP300晶圆测试附件，包含8" ，12" Wafer测试附件 1套
7、Layer thickness determination program based on the software 配备单层，多层外延层分析软件 1套
8、压片机、套模具、溴化钾粉末、红外烤灯，玛瑙研钵，样品勺等 1套