主要规格及技术指标

1 SiC外延层载流子浓度CV mapping设备； 2 样品台需具备面扫描功能（即mapping功能），至少兼容4寸、6寸、8寸样品； 3 对于SiC晶圆样品，外延载流子浓度测试范围: 1x1014 ～ 1x1019 cm-3； 4 汞接触面积重复性：1 sigma <0.2%， 5 测试重复性：1 sigma<0.5%，测试精度：3sigma<2%。测试标准：取单点静态测试10次，10次测试值的STDEV/AVERAGE作为重复性测试值；精度是指（测试值-参考值）/参考值； 6 施加偏压范围不低于+/-250V； 7 测试电压频率可达到1MHz；测量电容为： 0～2000 pF时，频率为1Mhz， 0～20000 pF时，频率为100Khz 8 设计有专用的分体式汞盒，操作人员可以轻松取出汞盒，添加、更换新汞。整个换汞过程可以由客户自行完成，无需厂方人员到场操作。 9 设备工作状态下整系统用汞量小于50ul 10 测试腔体为负压设计，防止汞蒸汽泄露 11 具备一键换汞功能，软件内单击换汞按钮，探头将自行排出废汞并吸入新汞 12 测试时晶圆的正面朝上，去边距离小，碎片率低，不存在大面积脏污晶圆的风险

主要功能及特色

测量外延层载流子浓度

主要附件及配置

1. 测试腔体为负压设计，防止汞蒸汽泄露
2. 具备一键换汞功能，软件内单击换汞按钮，探头将自行排出废汞并吸入新汞
3. 测试时晶圆的正面朝上，去边距离小，碎片率低，不存在大面积脏污晶圆的风险