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退火炉
仪器编号
KG222488
规格
退火炉
生产厂家
上海晶未科技有限公司
型号
LT33A
制造国家
中国
分类号
04060804
放置地点
Array4113
出厂日期
2022-08-02
购置日期
2022-08-02
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
1）加热器最大加热功率∶ 50 KW； 2）最高加热温度∶ 2200℃；3） 系统真空检漏漏率≤1.0x10-11Pa.m/S 4） 极限真空度∶<9.0×10 -6mBar 5） 压力稳定性∶<±0.1 mBar（0-10mBar）
主要功能及特色
碳化硅晶锭退火
主要附件及配置
不锈钢炉膛双层水冷，容量不小于150L
气压监测系统两低一高
加热电源≥50KW
测温单元室温-2200℃，控制精度<±0.5℃
样品架升降功能可升降范围0-80mm
保温材料可实现石英管腔体内外温差1900℃
可实现加热4寸、6寸晶片超过25片/次或晶锭4根/次
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
公示收费价格：300元/小时
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