"转子尺寸:适用于6寸晶圆片单尺寸,单次甩干数量1-25块旋转腔转速及均匀性:(马达转速0-2200/MIN可调,转速误差±5%)作业程序:冲洗、烘干的步骤顺序、时间、转速等可分段编辑,(可设recipe为10个)氮气加热:温控范围:0-100;(温控范围0-100℃)抗静电装置:YesN2过滤器:0.003um过滤器水阻值计:YES运行稳定性:腔体震动值小150um甩干作业效果:聚光灯下检查甩干后晶圆片无水分残留痕迹甩干作业时间:冲洗甩干共10分钟-12分种碎片率:低于万分之一"
对纯水洗净后的晶圆进行干燥处理
工艺腔数量:1 个
规格:加工尺寸6″兼容4″
工作转速:300—2500r/min
加热功能:N2 加热 腔体加热
运行过程中,腔门与电机转轴采用氮气密封
公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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