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单晶炉
单晶炉

联系人:  黄渊超

地    址:   3125

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激光打标机
激光打标机

联系人:  王万堂

地    址:   4114

电    话:   17630726411

抛光预清洗机
抛光预清洗机

联系人:  王万堂

地    址:   3211材料外延生长区

电    话:   17630726411

甩干机
甩干机

联系人:  王万堂

地    址:   3211外延生长区

电    话:   17630726411

激光诱导击穿等离子发射光谱系统
激光诱导击穿等离子发射光谱系统

联系人:  胡涵昌

地    址:   信息港园区3211外延区

电    话:   --

低压化学气象沉积系统（低压BPSG）
低压化学气象沉积系统（低压BPSG）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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LPCVD(低压POLY)
LPCVD(低压POLY)

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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LPCVD（常压碳膜去除）
LPCVD（常压碳膜去除）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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氧化退火炉及配件
氧化退火炉及配件

联系人:  史培丰

地    址:   信息港园区3211薄膜区

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氧化退火炉（湿氧）
氧化退火炉（湿氧）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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显微镜
显微镜

联系人:  陈浮

地    址:   3号楼 3211 湿法区

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牛津能谱仪（EDS）
牛津能谱仪（EDS）

联系人:  周毅

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高频功率 信号放大装置
高频功率 信号放大装置

联系人:  韩铃淇

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可回馈电网模拟装置
可回馈电网模拟装置

联系人:  韩铃淇

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离子溅射仪（喷金仪）
离子溅射仪（喷金仪）

联系人:  周毅

地    址:   薄膜区

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