主要规格及技术指标

技术规格
腔室尺寸：120mm 直径 x 120mm 高
SE 的腔室尺寸：150 毫米直径 x 165 毫米高
溅射靶材：金靶材Au/PD 或 PT 可选
样品台：12 SEM样品台
溅射电源：基于微处理器的安全互锁变量，最大 40mA。
溅射头：低压平面磁控管型 ，带快速更换靶材 环绕式暗空间屏蔽
模拟计量：真空气氛 - 0.001mb 电流 0-50mA
尺寸：420 毫米直径 x 295 毫米高
重量：14Kgs
电源：100 - 120 或 200 - 240 VAC，50/60Hz
功率：最大 175 VA
压力，调节 7 - 8 psi (0.5 - 0.6 bar) 软管连接，6.0mm ( ¼ ")

主要功能及特色

控制方式：自动运行气体吹扫和泄漏功能
自动流程排序
完全手动覆盖
带暂停的数字计时器（0-300 秒）
自动排气
泵送系统
旋转泵：高速，2级
抽速：2.0/2.4立方米/小时（50/60Hz）0.1mb 是 25/30 秒
台式系统：真空泵安装在与不锈钢波纹管耦合系统兼容的台式防振台上
尺寸：330 毫米直径 x 215 毫米高

主要附件及配置

真空油泵