仪器分类
氧化退火炉及配件
氧化退火炉及配件
仪器编号
KG240761
规格
支持2/3/4/6寸wafer炉次性加工,装载量1-25片每炉,片内厚度均匀性AVG/标准差≤3%、片间厚度均匀性AVG/标准差5%
生产厂家
青岛赛尔微电子有限公司/青岛赛宇微电子科技有限公司
型号
SR-ZD-3604
制造国家
中国
分类号
04060804
放置地点
Array信息港园区3211薄膜区
出厂日期
2024-05-23
购置日期
2024-05-23
入网日期
2022-06-09

主要规格及技术指标

支持2/3/4/6寸wafer炉次性加工,装载量1-25片每炉,片内厚度均匀性AVG/标准差≤3%、片间厚度均匀性AVG/标准差5%

主要功能及特色

热氧工艺

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期