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氧化退火炉及配件
仪器编号
KG240761
规格
支持2/3/4/6寸wafer炉次性加工，装载量1-25片每炉，片内厚度均匀性AVG/标准差≤3%、片间厚度均匀性AVG/标准差5%
生产厂家
青岛赛尔微电子有限公司/青岛赛宇微电子科技有限公司
型号
SR-ZD-3604
制造国家
中国
分类号
04060804
放置地点
Array信息港园区3211薄膜区
出厂日期
2024-05-23
购置日期
2024-05-23
入网日期
2022-06-09
主要规格及技术指标
支持2/3/4/6寸wafer炉次性加工，装载量1-25片每炉，片内厚度均匀性AVG/标准差≤3%、片间厚度均匀性AVG/标准差5%
主要功能及特色
热氧工艺
主要附件及配置
无
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