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甩干机
仪器编号
规格
生产厂家
无锡泉一科技
型号
制造国家
中国
分类号
011207
放置地点
Array3211外延生长区
出厂日期
2021-12-29
购置日期
2021-12-29
入网日期
2021-12-29
主要规格及技术指标
转子尺寸：适用于6寸晶圆片单尺寸，单次甩干数量1-25块
旋转腔转速及均匀性：（马达转速0-2200/MIN可调，转速误差±5%）
作业程序：冲洗、烘干的步骤顺序、时间、转速等可分段编辑，（可设recipe为10个）
氮气加热：温控范围：0-100；（温控范围0-100℃）
抗静电装置：Yes
N2过滤器：0.003um过滤器
水阻值计：YES
运行稳定性：腔体震动值小150um
甩干作业效果：聚光灯下检查甩干后晶圆片无水分残留痕迹
甩干作业时间：冲洗甩干共10分钟-12分种
碎片率：低于万分之一
主要功能及特色
对纯水洗净后的晶圆进行干燥处理
主要附件及配置
工艺腔数量：1 个
规格：加工尺寸6″兼容4″
工作转速：300—2500r/min
加热功能：N2 加热 腔体加热
运行过程中，腔门与电机转轴采用氮气密封
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
100元/小时
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