1)加热器最大加热功率∶ 30 KW; 2)最高加热温度∶ 2600℃;3) 温度自动调节相对偏差∶<±0.5℃ 4) 极限真空度∶<9.0×10 -6mBar) 压力稳定性∶<±0.1 mBar(0-10mBar)
制备高纯4英寸/6英寸碳化硅单晶
无