大型仪器共享管理系统

"1. 光学系统：IC2S无限远色差反差双重校正光学系统，45mm国际标准物镜齐焦距离；2. 观察方式切换：采用4位功能模块转盘；可实现观察方法：明场，暗场，C-DIC；3. 镜筒：三目镜筒，2.5倍管镜，可调整瞳距及上下角度；4. 目镜：10倍带刻度超大视野平场目镜，每个目镜均可单独进行屈光度调整，视场达20mm；5. 载物台：配有晶圆载物台，可放置3、4、6英寸样品；6. 物镜：（1）5x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径为0.13；（2）10x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径为0.25；（3）20x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径为0.4；（4）50x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径为0.75；（5）100x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径为0.85。"

主要规格及技术指标

主要功能及特色

主要附件及配置