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晶棒定向粘接仪
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切片后清洗机
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石墨件纯化炉
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数控平面磨床
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碳化硅源粉合成炉
碳化硅源粉合成炉

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陶瓷盘清洗机
陶瓷盘清洗机

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外圆滚磨机
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退火炉
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X射线定向仪
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X射线定向仪
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氩气转运系统
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研磨清洗机
研磨清洗机

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甩干机
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氧化镓单晶生长炉（浙江大学硅材料国家重点实验室经费购买）
氧化镓单晶生长炉（浙江大学硅材料国家重点实验室经费购买）

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轮廓仪
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