主要规格及技术指标

1、主机部分：包含真空腔室，材质内层316L。2、提拉装置：采用光栅尺测量，精 度1微米。最低提拉速度≦0.1mm/H。行程：900mm。3、旋转装置：直流电机PWM电 源驱动，转速稳定±1.5%转速连续可调。转速：调节范围0～50 r/min。4、称重系 统：采用上称重方式，量程：6KG，精度10mg，厂家：进口。5、气路系统：质量流 量控制器+气动阀的方式+VCR自动焊接，气动阀选用进口。6、真空系统：油真空泵 +防止油反压到真空室。7、报警系统：具有温度及水流量偏差报警。8、加热系统 ：中频感应加热，60kw。9、UPS电源。10、采用PLC+工控机方式，双保险架 构。11、测温：红外测温+热电偶测温。12、软件：软件可终身免费升级。13：一 套定制铱制品约800g。

主要功能及特色

该晶体提拉炉的工作原理是将原料多晶块后放入铱坩埚中加热熔融，在熔体表面接 籽晶，再精确调控提拉熔体获得单晶，可以同时满足提拉法和导模法两种生长方式 。设备具有设定必要参数，自动化控制生长的能力。

主要附件及配置

1、主机部分：包含真空腔室，材质内层316L。2、提拉装置：采用光栅尺测量，精 度1微米。最低提拉速度≦0.1mm/H。行程：900mm。3、旋转装置：直流电机PWM电 源驱动，转速稳定±1.5%转速连续可调。转速：调节范围0～50 r/min。4、称重系 统：采用上称重方式，量程：6KG，精度10mg，厂家：进口。5、气路系统：质量流 量控制器+气动阀的方式+VCR自动焊接，气动阀选用进口。6、真空系统：油真空泵 +防止油反压到真空室。7、报警系统：具有温度及水流量偏差报警。8、加热系统 ：中频感应加热，60kw。9、UPS电源。10、采用PLC+工控机方式，双保险架 构。11、测温：红外测温+热电偶测温。12、软件：软件可终身免费升级。13：一 套定制铱制品约800g。