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半自动金属腐蚀清洗机
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微纳光电子探针台
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SUSS接触式曝光机
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三维光学轮廓仪
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半导体输运性能测试仪
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高分辨多功能光谱仪
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单晶炉
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碳化硅源粉合成炉
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高纯石墨粉制备炉
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高速摄像机
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联系人:  陈浮

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氧化镓单晶生长炉（浙江大学硅材料国家重点实验室经费购买）
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石墨件纯化炉
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