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仪器详情
SUSS接触式曝光机
仪器编号
规格
生产厂家
SUSS
型号
MJB4
制造国家
德国
分类号
120302
放置地点
Array3211黄光区
出厂日期
2022-02-22
购置日期
2022-02-22
入网日期
2022-02-22
主要规格及技术指标
分辨率可达到1微米，手动套刻对准
主要功能及特色
最大支持四寸晶圆，可支持小片，分辨率可达到1微米
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
公示收费价格：200元/小时
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