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仪器详情
薄片清洗
仪器编号
规格
4、6寸
生产厂家
中国电子科技集团公司第四十五研究所
型号
DFQ-2150ZDBP
制造国家
中国
分类号
120302
放置地点
Array3211湿法蚀刻区
出厂日期
2022-02-22
购置日期
2022-02-22
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
可清洗晶圆规格：4" & 6″（φ100mm & φ150mm），可清洗晶圆厚度：≥150μm。
主要功能及特色
主要用于减薄后的碳化硅晶圆清洗
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
280元/小时
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