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联系人:  陈浮

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半自动金属腐蚀清洗机
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联系人:  陈浮

地    址:   信息港园区3211湿法区

电    话:   15022573507

SUSS接触式曝光机
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联系人:  周毅

地    址:   3211黄光区

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键合机
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单晶炉
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高速摄像机
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联系人:  陈浮

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退火炉
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联系人:  王万堂

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甩干机
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联系人:  王万堂

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减薄机
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联系人:  王万堂

地    址:   信息港园区4114

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LPCVD(低压POLY)
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联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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碳化硅晶圆最终清洗机
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联系人:  王万堂

地    址:   信息港园区3211外延区

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抛光预清洗机
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联系人:  王万堂

地    址:   3211材料外延生长区

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激光打标机
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联系人:  王万堂

地    址:   4114

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等离子去胶机
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联系人:  朱佳奇

地    址:   3211封测区

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探针轮廓仪
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联系人:  黄波

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