主要规格及技术指标

1. 最大扫描长度150mm；
2. 测试所允许的最大样品高度为50mm；
3. 垂直方向的扫描范围1000μm；
4. 测试高度方向的重复性≤0.4nm（1微米的标准台阶）；
5. 测试垂直分辨率≤0.1nm
6. 光学系统：彩色CCD 180x放大倍率
7. XY自动移动载物台，X为150mm行程,Y为150mm行程；
8. 探针压力：1-15mg能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品。
9. 提供证书的校准用标样
10. 系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性
11. 提供专用分析软件并终身免费升级
12 多次扫描分析≥15次
13. 仪器采用成熟的LVDT传感器,保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性
14. 单次扫描最大采样点数120,000
15. 标配带有磁吸附自动更换探针附件工具，而不是固定在设备主机上
16. 仪器配有环境保护罩，防止静电环境影响
17. 计算机配置，最新64位操作系统，320G硬盘，4G内存，23寸显示器，保证数据处理的流畅
18. 薄膜应力测量功能

主要功能及特色

台阶仪主要是用来测试薄膜厚度，表面粗糙度和材料表面形貌。在半导体行业，手机触摸屏行业，显示器等工业领域基本上都是采用该仪器进行镀膜厚度的测量，在高校中，如果涉及到需要检测薄膜厚度或者台阶高度等方面要求时，大部分都会用到台阶仪，目前国内50%以上高校都有台阶仪在使用。该仪器现在已经成为材料表面量测的一种通用设备，在SCI收录的文章中，对于薄膜厚度测量基本上都是使用台阶仪。

主要附件及配置

软件，硬件