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LPCVD(低压POLY)
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联系人:  史培丰

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半导体功率器件分析仪
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联系人:  史培丰

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全自动贴片机
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联系人:   闫海东

地    址:   3211封装测试区

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井式真空炉
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联系人:  朱佳奇

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粗铝线焊接机
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联系人:   闫海东

地    址:   3211封装测试区

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金丝球焊线机
金丝球焊线机
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联系人:   闫海东

地    址:   3211封装测试区

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半自动涂胶显影台
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联系人:   周毅

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电子束蒸发台
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联系人:  朱佳奇

地    址:   3号楼 3211金属区

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SUSS接触式曝光机
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联系人:   周毅

地    址:   3211黄光区

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LPCVD（常压碳膜去除）
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联系人:  史培丰

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低压化学气象沉积系统（低压BPSG）
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联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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氧化退火炉（湿氧）
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联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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键合机
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联系人:  李贞攸

地    址:   信息港园区9161

电    话:   13216713813

激光诱导击穿等离子发射光谱系统
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联系人:   罗显靖

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单晶炉
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联系人:   林琳

地    址:   3125

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