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微分干涉显微镜
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低阻测试仪
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LPCVD(低压POLY)
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半导体功率器件分析仪
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半导体材料微纳结构观察表征系统
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晶圆几何参数测试仪
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全自动贴片机
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井式真空炉
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粗铝线焊接机
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金丝球焊线机
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半自动涂胶显影台
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电子束蒸发台
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SUSS接触式曝光机
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LPCVD（常压碳膜去除）
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低压化学气象沉积系统（低压BPSG）
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