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样品高温加热台
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甩干机
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联系人:  王万堂

地    址:   3211外延生长区

电    话:   17630726411

低压化学气相沉积系统
低压化学气相沉积系统

联系人:  史培丰

地    址:   信息港园区科创中心3211室薄膜区域

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显微镜
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联系人:  周毅

地    址:   3号楼 科创中心3-211黄光区

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离子溅射仪（喷金仪）
离子溅射仪（喷金仪）

联系人:  周毅

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自动化批式合成系统
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地    址:   信息港园区4250

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LPCVD（常压碳膜去除）
LPCVD（常压碳膜去除）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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低压化学气象沉积系统（低压BPSG）
低压化学气象沉积系统（低压BPSG）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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氧化退火炉（湿氧）
氧化退火炉（湿氧）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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氧化退火炉及配件
氧化退火炉及配件

联系人:  史培丰

地    址:   信息港园区3211薄膜区

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UP-233微波等离子体化学气相沉积设备
UP-233微波等离子体化学气相沉积设备

联系人:  胡涵昌

地    址:   信息港园区3211外延区

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Thermo 高通量流式细胞检测仪
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联系人:  王赛玉

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牛津能谱仪（EDS）
牛津能谱仪（EDS）

联系人:  周毅

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合成生物学自动化系统
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