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数控平面磨床
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抛光机
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碳化硅晶圆最终清洗机
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矢量网络分析仪
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离子溅射仪（喷金仪）
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甩干机
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激光打标机
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牛津能谱仪（EDS）
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LPCVD（常压碳膜去除）
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低压化学气象沉积系统（低压BPSG）
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氧化退火炉（湿氧）
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氧化退火炉及配件
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