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晶棒定向粘接仪
晶棒定向粘接仪

联系人:  王万堂

地    址:   4115

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切片后清洗机
切片后清洗机

联系人:  王万堂

地    址:   4115

电    话:   17630726411

多线切割机
多线切割机

联系人:  王万堂

地    址:   4115

电    话:   17630726411

外圆滚磨机
外圆滚磨机

联系人:  王万堂

地    址:   4115

电    话:   17630726411

数控平面磨床
数控平面磨床

联系人:  王万堂

地    址:   4115

电    话:   17630726411

氧化镓单晶生长炉（浙江大学硅材料国家重点实验室经费购买）
氧化镓单晶生长炉（浙江大学硅材料国家重点实验室经费购买）

联系人:  沈典宇

地    址:   4112

电    话:   19955318055

甩干机
甩干机

联系人:  王万堂

地    址:   3211外延生长区

电    话:   17630726411

离子溅射仪（喷金仪）
离子溅射仪（喷金仪）

联系人:  周毅

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LPCVD（常压碳膜去除）
LPCVD（常压碳膜去除）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

电    话:   --

低压化学气象沉积系统（低压BPSG）
低压化学气象沉积系统（低压BPSG）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

电    话:   --

氧化退火炉（湿氧）
氧化退火炉（湿氧）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

电    话:   --

氧化退火炉及配件
氧化退火炉及配件

联系人:  史培丰

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牛津能谱仪（EDS）
牛津能谱仪（EDS）

联系人:  周毅

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矢量网络分析仪
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联系人:  汪晨琛

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导热系数仪
导热系数仪

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