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GaN感应耦合等离子体干法刻蚀机
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联系人:  黄波

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感应耦合等离子体刻蚀系统
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联系人:  黄波

地    址:   信息港园区3号楼干法区

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探针轮廓仪
探针轮廓仪
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联系人:  黄波

地    址:   信息港园区干法刻蚀区

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PI89（扫描电镜原位纳米力学测试系统）
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联系人:  郑林启

地    址:   9137

电    话:   17865162061

EMI接收机系统
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高阻测试仪
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低压化学气相沉积系统
低压化学气相沉积系统
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少子寿命测试仪
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FIB-SEM双束电镜
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联系人:  郑林启

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等离子体去胶机
等离子体去胶机
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功率器件动态测试系统
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干法刻蚀机
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地    址:   信息港园区3211干法区

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半导体输运性能测试仪
半导体输运性能测试仪
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地    址:   9108实验室

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三维光学轮廓仪
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深能级瞬态谱仪
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