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低压化学气象沉积系统（低压BPSG）
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联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

电    话:   17857120381

氧化退火炉（湿氧）
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联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

电    话:   17857120381

氧化退火炉及配件
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联系人:  史培丰

地    址:   信息港园区3211薄膜区

电    话:   17857120381

激光诱导击穿等离子发射光谱系统
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联系人:   罗显靖

地    址:   信息港园区3211外延区

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iBioFoundry-1
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多通道电化学工作站
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联系人:  吴玉瑾

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电    话:   13216713813，18758093161

双色检测器傅里叶变换红外光谱仪
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联系人:  李俊浩

地    址:   A09-514

电    话:   13216713813

电化学综合测试仪
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联系人:  吴玉瑾

地    址:   3238电池房

电    话:   13216713813，18758093161

射频器件参数在片温变测试系统
射频器件参数在片温变测试系统
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联系人:  李贞攸

地    址:   信息港园区9152

电    话:   13216713813

键合机
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联系人:  贾泽煦

地    址:   信息港园区9161

电    话:   13216713813

三维光学轮廓仪
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联系人:  钱怡潇

地    址:   信息港园区9108

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半导体输运性能测试仪
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高分辨多功能光谱仪
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联系人:  钱怡潇

地    址:   9108

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电流波形分析仪
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联系人:  贾泽煦

地    址:   水博园园区A09-201

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高功率飞秒激光器
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地    址:   杭州奕力激光器公司

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