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导热系数仪
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低压化学气相沉积系统
低压化学气相沉积系统

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碳化硅晶圆最终清洗机
碳化硅晶圆最终清洗机

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减薄机
减薄机

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研磨机（单面精磨用）
研磨机（单面精磨用）

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研磨机（单面粗磨用）
研磨机（单面粗磨用）

联系人:  王万堂

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抛光机
抛光机

联系人:  王万堂

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外延炉
外延炉

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探针轮廓仪
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联系人:  黄波

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椭偏仪
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显微镜
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显微镜
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半自动贴蜡机
半自动贴蜡机

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倒角机
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高纯石墨粉制备炉
高纯石墨粉制备炉

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