仪器设备
公共平台    
共享联盟
国科大杭州高等研究院
精密加工
超精密加工与制造
半导体
几何参数测试 缺陷分析 表面形貌 电学性能 材料结构 制备设备
合成生物
IB平台 IC平台 培养制备 生物分析
先进材料
热分析 理化分析 形貌表征 电化学测试 成分分析 光谱分析
牛津能谱仪（EDS）
牛津能谱仪（EDS）

联系人:  周毅

地    址:   --

电    话:   --

LPCVD（常压碳膜去除）
LPCVD（常压碳膜去除）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

电    话:   --

低压化学气象沉积系统（低压BPSG）
低压化学气象沉积系统（低压BPSG）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

电    话:   --

氧化退火炉（湿氧）
氧化退火炉（湿氧）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

电    话:   --

氧化退火炉及配件
氧化退火炉及配件

联系人:  史培丰

地    址:   信息港园区3211薄膜区

电    话:   --

激光诱导击穿等离子发射光谱系统
激光诱导击穿等离子发射光谱系统

联系人:  胡涵昌

地    址:   信息港园区3211外延区

电    话:   --

UP-233微波等离子体化学气相沉积设备
UP-233微波等离子体化学气相沉积设备

联系人:  胡涵昌

地    址:   信息港园区3211外延区

电    话:   --

外延炉
外延炉

联系人:  刘文基

地    址:   信息港园区3211外延区

电    话:   --

划片机
划片机

联系人:  --

地    址:   3号楼3211超净间

电    话:   --

脉冲半导体参数分析仪
脉冲半导体参数分析仪

联系人:   李贞攸

地    址:   信息港园区9110实验室

电    话:   --

版权所有 © 浙江大学 杭州国际科创中心    访问量: 9725161    系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司