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低压化学气相沉积系统
低压化学气相沉积系统

联系人:  史培丰

地    址:   信息港园区科创中心3211室薄膜区域

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手动涂胶台
手动涂胶台

联系人:  周毅

地    址:   3211黄光区

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牛津能谱仪（EDS）
牛津能谱仪（EDS）

联系人:  周毅

地    址:   --

电    话:   --

LPCVD（常压碳膜去除）
LPCVD（常压碳膜去除）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

电    话:   --

低压化学气象沉积系统（低压BPSG）
低压化学气象沉积系统（低压BPSG）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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氧化退火炉（湿氧）
氧化退火炉（湿氧）

联系人:  史培丰

地    址:   3211薄膜区

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氧化退火炉及配件
氧化退火炉及配件

联系人:  史培丰

地    址:   信息港园区3211薄膜区

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激光诱导击穿等离子发射光谱系统
激光诱导击穿等离子发射光谱系统

联系人:  胡涵昌

地    址:   信息港园区3211外延区

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划片机
划片机

联系人:  --

地    址:   3号楼3211超净间

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