主要规格及技术指标

1. 红外光纤纳秒激光器（100W） 2. 皮秒绿光/皮秒紫外双波段激光器（＞5W） 影像系统 相机 高倍/低倍影像各一个 功能 影像抓靶 划线参数 加工方式 P1：振镜 + 平台; P2/P3：切割头 划线线宽 20 – 60 μm（根据实际需求确定） 线宽公差 ±5 μm 直线度 ±10 μm 死区宽度 ＜180 μm 清边参数 加工方式 振镜 + 平台 清边宽度 ＜12 mm 图形精度（清边宽度公差）＜50 μm

主要功能及特色

FCS10系列是用高能量的激光在薄膜太阳能电池表面进行划线和清边的激光加工装置，根据不同的激光器配置，可进行P1、P2、P3划线和P4清边工作，同时兼容蚀刻、打标等功能。 设备各部件高效集成，集成激光器、光路、振镜系统、聚焦系统、三轴运动平台、影响系统等，可实现高精度、高速划线、清边工艺。

主要附件及配置

无