主要规格及技术指标

1.电子枪类型：肖特基（ZrO/M）场发射灯丝； 2.电子枪寿命：保证使用1年以上； 3.电子束分辨率：0.6 nm @ 15 kV（最佳工作距离）；电子束分辨率：0.9 nm @ 1 kV； 4.加速电压：最小加速电压 200V；最大加速电压 30 kV； 5.电子枪着陆电压可调范围：20V-30kV； 6.电子枪束流强度：最低束流强度 ：0.8 pA；最大束流强度 ：176 nA； 7.具备漂移补偿功能； 8.具备可加热式自动物镜光阑，光阑孔数量15孔； 9.离子束分辨率（双束交叉点）：2.5 nm @ 30 kV（采用选边法）； 10.离子源种类及数量：采用Ga离子源（液态镓）1个； 11.离子源寿命≥1000小时； 12.加速电压：最低加速电压 ：500 V ；最高加速电压 ： 30 kV 13.离子束束流强度：最低束流强度 ：0.1 pA ；最高束流强度 ： 100 nA； 14.具备实时监控离子束加工的功能（边切边看功能）； 15.气体沉积通道：最多 5通道；可在离子束诱导下进行可控沉积； 16.气体沉积材料种类：W（钨）、C (碳)各1个； 17.探测器 17.1样品室二次电子探测器：具备（主机自带）； 17.2镜筒内二次电子及背散射电子探测器：具备（主机自带）； 17.3样品室红外CCD探测器：具备； 17.4样品室内彩色光学相机，实现样品导航功能：具备； 17.5电子束束流测量装置：具备； 18.样品室及样品台 18.1样品室直径： 379 mm； 18.2样品台 ：具备五轴全自动马达样品台； 18.3样品台行程：X、Y方向移动范围：110 mm；Z方向移动范围：65 mm；倾斜角度：-15°~ 90°；可绕Z轴360度旋转； 18.4最大样品高度： 85 mm（样品台到束交叉点）； 18.5样品室等离子清洗装置：内置集成； 18.6样品快速进样系统：具备； 19.纳米机械手： 19.1电镜观察和纳米机械手控制由同一电脑同一软件完成，可以实现电镜操作软件控制XYZ移动，进针，鼠标拖动等功能，实现样品提取和焊接。 19.2 自由度：5个； 19.3 漂移<50nm/min； 19.4 振动<15nm； 19.5 全方向重复精度<±150nm 20真空系统 20.1完全无油真空系统：主机自带无油机械干泵1个，分子泵1个，离子泵4个； 20.2样品室真空度：≤ 2.6×10-4 Pa； 20.3 空压机和循环冷水机：随主机一同原厂发货 21 控制系统 21.1 多功能用户操作面板：带有旋钮控制面板，可控制样品台； 21.2 图像扫描分辨率：优于65k*65k像素，单次扫描不拼接； 21.3 图像显示：2台24”LCD显示器；分辨率1920*1200； 21.4 文件格式：TIFF（8,16 or 24位），BMP或JPEG格式，单幅或4幅显示； 21.5 配套国产不间断电源：容量10kVA，断电时可持续供电：0.5小时。

主要功能及特色

原位切削材料去除分析；样品制备

主要附件及配置

无