主要规格及技术指标

1. 真空腔室： 1-1 真空 304L 不锈钢方形真空室，内部电抛光，真空室直径约宽 400mm深 400mm 高 450mm， 立式前后开门结购， 避免一侧导轨伸出到手套箱一侧，节后门采用手动铰链结构； 前后门带玻璃观察窗， 含防污挡板， 真空室内外表面抛光处理； 腔室预留有照明和膜厚仪探头等设备接口。 2. 真空系统： 2-1 配置德国普发 Hipace700 分子泵+鲍斯 DRV24 机械泵真空系统,气动插板阀， 真空测量： 1 套德国普发 PTR91 全量程真空计； 抽气时间： 大气压-5*10-4Pa 小于 20min； (手套箱环境） 。 3. 真空极限： 3-1 真空极限优于 2.0× 10-5Pa； 漏率： 优于 5× 10－ 8Pa*L/S 国家标准） ；关机 12 小时后， 真空度≤ 5Pa； （ 手套箱环境连续烘烤抽真空） 4. 蒸发源： 4-1 配备 2 组金属蒸发源， 金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构（ 钨舟；舟容积 0.3mL） ； 配备 TDK 金属蒸发电源 1 套， 切换 2 组蒸发电极用， 蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式， 二者可切换。 蒸发电源可以通过 软件控制， 也可以手动控制， 此外， 蒸发电源还可以通过膜厚仪 PID（ 闭环控制） ， 自动调节蒸发速率。 4-2 配备 4 组有机蒸发源， 束源炉最高加热温度 700℃ ， 配备进口 TDK 有机蒸发电源 2 套， 带日本导电温控仪精确控温精确控制输出。 5. 基片台： 5-1 抽屉式结构， 承载 120*120MM 掩膜板， 带水冷功能， 配气动基片大挡板。 样品台可旋转， 基片与蒸发源距离手动可调， 手动升降调节最大距离 50mm 可调。 样品台旋转： 样品片 台可旋转， 0-30 转／ 分连续可调。 6. 进口膜厚控制仪： 6-1 采用 SQC310 膜厚控制仪， 带 1 套水冷探头， 监测厚度显示范围0-99.999 K？； 显示精度： 0.01？； 控制精度： 0.1？。 7. 系统自动控制： 7-1 西门子 PLC+触摸屏手自动控制； 可输入速率及膜厚， 控制蒸发电源输出； 控制内容： 机械泵， 分子泵， 气动、 电磁阀门、 真空计等等； 自动抽真空、 自动镀膜、 自动停真空等等。 7-2 完整的互锁保护（ 硬件、 软件互锁） ， 在手动和自动模式下， 设备处于完整互锁保护下， 保障人员和设备安全， 另外系统配备水压检测装置；

主要功能及特色

PD-400S 该系统可蒸镀多种金属材料（ 金、 银、 铜、 铝、 铬、 钛、镍等等） 或多种有机材料如： C60、 BCP、 NPB、 TPBi 等材料， 可以共蒸发多种材料， 设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作， 采用前滑动开门结构。 该系列设备广泛应用于高校、 科研院所的教学、 科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等

主要附件及配置

无