主要规格及技术指标

1、测试高度方向的重复性≤0.4nm（1微米的标准台阶）； 2、仪器采用成熟的LVDT传感器,保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性； 3、标配带有磁吸附自动更换探针附件工具，而不是固定在设备主机上； 4、最大扫描长度大于等于50mm； 5、测试所容许的最大样品高度大于等于50mm； 6、垂直方向的扫描范围大于等于900微米； 7、多次扫描分析大于等于30次； 8、具有应力测试模块； 9、具有表面粗糙度测试模块。

主要功能及特色

台阶仪主要用于材料表面的（2D）测量，主要可以测试台阶高度、薄膜应力、表面粗糙度；同时也适合材料表面沟槽深度的测试。

主要附件及配置

无