主要规格及技术指标

一、 特气柜及供气系统 1、双瓶供气，半自动控制，具有抽真空功能，高低压排放，高精度颗粒过滤器（0.003微米），高低压显示，氮气吹扫。调压阀，配1台侦测器。具有侦测漏气第一时间关断阀门，并发出声光报警。具有紧急关断按钮和远程关断预留接入位置。VCR系统，电解抛光管阀件。管件的表面光洁度Ra值0.25微米，漏率：1×10-10mbar.L/s。材质为SS316L不锈钢材质。特气柜：具有防爆功能，安装防爆玻璃，板材厚度2.5毫米。烤漆防锈处理。配置单独的吹扫面板给该特气柜做吹扫及压力测试。 2、气柜电箱：为侦测器，提供DC24V电源，并放大声光报警信号。配置急停按钮和报警指示灯等。AC220V, 500W。 3、气体侦测器：硅烷侦测器。报警值为气体的TLV值的1/2。泄漏气体浓度大于这个数值后，侦测器第一时间报警。 4、特气柜及供气设备通过SEMIS2安全认证并提供证书复印件，硅烷采样双套管输送方式，保证输送安全。 所用阀门管件尺寸：1/4,电解抛光等级的。材质 SS316L。表面光洁度Ra值0.25微米，漏率：1×10-10mbar.L/s。材质为SS316L不锈钢材质。 二、 尾气处理 1、可以处理SiH4,SiF4,H2等机台排出的尾气等，处理效率达到98.5%。 2、电热+水淋式,半自动控，控制系统，带循环水系统； 3、废气的进出口分别配备有负压表及负压监控报警表。配备氮气流量计。进出口负压报警功能，酸碱度PH计测试装置实时在线显示。维护及维修方便。尾气处理设备通过SEMI S2安全认证。 4、设备总处理量500升每分钟。 5、泵到尾气处理排放管道：PECVD,LPCVD 设备的泵到尾气处理管道链接。DN40，SS304，含波纹管及KF接头。尾气处理到后级酸碱排管道或者户外的安装：负压管道需要250-300帕负压。 三、 侦测器系统及排风 1、 特气柜配置侦测器：硅烷，四氟化硅,氢气等。 2、 工艺设备附近配置侦测器。硅烷，四氟化硅等。 3、 侦测器报警与特气柜供气联动，第一时间停止特气柜供气。均有声光报警。 4、 侦测器，24小时，365天实时探测，当探测到有害特气时，第一时间发出声光报警。 5、 做好气柜的排风，使气柜具备负压环境工作。每台气柜需要300-400立 方每小时风量。含风机及风机控制电箱和电源线等。 6、 工艺机台的用气点位7个。 PECVD:SiH4-1,SiF4-1,SiF4-2, H2,LPCVD: SiH4-1,SiH4-2,H2 7、 供气管道：采用EP级电解抛光的管道，SS316L材质。管道系统安装完成后，进行压力测试，VCR系统，必须在工作压力的1.15倍压力下，满足24小时无压降。卡套系统，8小时无压降。特气硅烷管道做氦检漏测试。漏1*10-9mabr.l/s。 8、阀件规格及品牌要求：隔膜阀：1/4VCR,EP级别，FUJIKIN/TKF/SWAGELOK,调压阀：1/4VCR,EP级别，PARKER/APTECH/TESCOM, 过滤器：1/4VCR,EP级别，0.003微米。PALL/MOTT/TEM, 压力表：1/4VCR,EP级别，WIKA/NKS/WISE, 气动阀：1/4VCR,EP级别，FUJIKIN/TKF/SWAGELOK，VCR FITTING:1/4VCR,EP级别，FUJIKIN/TKF/SWAGELOK。 真空发生器：1/4VCR,EP级别，APTECH/TKF/PARKER，单向阀：1/4VCR,EP级别，FUJIKIN/TKF/SWAGELOK。Gas Detector：Honeywell/RIKEN，以上部件漏率均不高于在 1*10-9mbar.l/s。

主要功能及特色

设备系统能平稳，安全输送气体到其他设备，且能够有效安全的对设备排放的尾气处理进行废气处理。

主要附件及配置

无