主要规格及技术指标

(一) 脉冲信号发生器 1、最大输出脉冲电压(开路负载): 2500V; 2、最大输出脉冲电流(短路负载、双极性): 50A; 3、输出阻抗:50Ω; 4、脉冲上升时间: 10ns; 5、脉冲宽度:100ns; 6、脉冲宽度和上升时间均可软件程控切换 （二）源测量单元： 1、电压量程：200V； 2、最大限流：1A； 3、电压精度：100nV； 4、电流精度：1pA； 5、功率：20W； 6、能够进行样品测试过程中的损伤监测。 （三）示波器： 1、最大带宽6GHz； 2、最大存储器深度4Mpts； 3、最大采样率20GSa/s； 4、四个模拟通道。 （四）探针台及显微镜 1、16X–200X倍数显微镜，含5.0MPUSB摄像头及LED灯； 2、U型针座平台，水平旋转，X-Y移动12mm*12mm，移动精度5um，平台升降12mm，针尖5um； 3、真空吸附； 4、真空泵及配件。

主要功能及特色

1、测量器件的IV曲线、动态电阻、钳位电压、ESD失效阈值、响应速度和栅氧化层穿通等数据，用于芯片设计、生产单位或者验证设计方案或者检验元件性能，也可用于科研机构进行电路设计方案验证，或者用料选型与验收。 2、通过调节上升沿和脉冲宽度，间接地模拟HBM、静电枪、CDM等静电脉冲形式的损伤能力和不同上升沿、不同脉宽的 CLAMP触发能力，可以在电路设计过程中用TLP验证与优化设计方案的ESD防护性能。 3、可以进行系统级的脉冲注入和失效测试。如对显示模组等模块相关IO接口ESD失效等级进行测试，找到其ESD防护薄弱部位，可以对整机接口部位（例如USB接口，光模块的的IO接口）进行ESD失效测试。 4、可以将TLP作为场源，配合相应的电磁场探头，对IC、PCB、模组或者整机进行场耦合失效测试。

主要附件及配置

无